旋片真空机组是以泵为主泵，以旋片泵为前级泵串联而成的。旋片真空机组选用的旋片泵作为前级泵，因此它克服了旋片泵使用时在一定压力下抽气速率低的缺点，而且同时保留了罗茨泵能迅速工作，有比较大抽气速率等优点。因为该机组的结构紧凑、抽速大、占地面积小，所以可以代替多台机械真空泵,因此旋片泵机组广泛地用于在真空冶炼、电力电容器、变压器真空热处理、真空镀膜设备的预抽、电真空半导体等行业中抽除密闭容器中含氧不高的、无爆炸性的、对金属无腐蚀性的、与泵油不会起化学反应的也不会含有颗粒尘埃的气体。

真空泵机组工作原理 倘若三级水环机组还是不能满足极限压力的时候，我们可以采用水环泵并联机械真空泵。这个机组主要用于需要处理大量水蒸汽，时间长且极限真空度要求非常高的抽真空系统，比如在真空干燥方面。 如果要求处理大量水蒸汽的真空系统中，使用水环泵是比较合适的，但是因为其极限真空度不高，而导致整个机组的极限真空度较低（这个只是相对而言）。虽然在要求真空度较高的抽真空系统中，需要极限真空较高的机械真空泵作为前级泵使用。可以把气镇机械真空泵与水环泵并联，作为泵的前级泵。真空干燥时，先用水环泵进行预抽，直到它的水蒸汽大量减少时，再开动气镇机械真空泵，切断水环泵。如果需要较长时间才能完成干燥的场合，所需冷却水和功率都比较少。